光谱影像量测装置

摘要

本发明揭示一种具有空间解析能力及光谱解析能力之光谱影像量测装置。该光谱影像量测装置包含一用以收集来自一样品之光能量的像方远心镜、一设置于该像方远心镜后之光狭缝、一用以准直来自该光狭缝之光束的非球面镜、一可将该光束的不同波长色散成不同出射角度子光束的波长色散元件、一用以聚焦该子光束之消色差镜、一用以侦测该子光束之强度的光侦测元件。该波长色散元件可为一穿透式或反射式的绕射光栅，而该光侦测元件可为一二维阵列光侦测器。