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发明名称 使用表面活性剂之铜的原子层沈积法
摘要 本发明系关于一种新颖之原子层沉积方法，其系于原子层沉积方法中于基板上、或于多孔固体中或于其上形成铜膜。094127951-p01.bmp094127951-p02.bmp
申请公布号 TW200611990 申请公布日期 2006.04.16
申请号 TW094127951 申请日期 2005.08.16
申请人 杜邦股份有限公司 发明人 杰弗瑞 史考特 汤普森
分类号 C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 美国
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