动态压力感测结构

摘要

一种元件动态压力感测结构，系应用于电容式麦克风，主要包含电极板、支撑垫和基板，电极板系间隔支撑垫与基板形成振动腔，电极板包含可挠区域与平坦振动区域，可挠区域系围绕且连接于平坦振动区域，下电极板包含致动电极与感测电极，致动电极系围绕感测电极，并对应可挠区域设置，使感测电极对应于平坦振动区域而形成电容，致动电极系提供极化电压以产生静电力吸引可挠区域下压可带动平坦振动区域产生位移，以调整平坦振动区域相对于感测电极的距离，且由于上层电极板的薄膜形状与位置可因驱动电极压差而产生不同改变量，可有效增进其应用于电容式麦克风之各种性质。