| 摘要 |
本发明有关一种靶材之制造方法，系藉由粉末冶金法制造溅射靶的靶材之方法，系对每一成形后之被烧结体，具有使该被烧结体自单侧开始烧结之加热步骤，该加热步骤，对上述每一被烧结体而言，使该被烧结体以输送至同时跨过设定为温度互异之相邻两个以上之领域之加热步骤。依据本发明，加热步骤中，对每一被烧结体，由于藉由在升温时两端的温度差，自单侧依序加热而烧结，因此在制造所谓长形物或大型靶材之际，烧结系自被烧结体之单侧开始依序进行，藉由该被烧结体之烧结而依次进行收缩，而可提高最终所得之靶材密度，在改善密度的同时，亦可防止翘曲或裂纹发生。 |
