| 发明名称 |
新颖之化合物,高分子化合物,光阻组成物及光阻图型之形成方法 |
| 摘要 |
本发明为提供一种下述式(1)所示化合物，094125306-p01.bmp〔式中，R为氢原子或低级烷基；X为硫原子或氧原子；Y为氢原子之一部份可被含有杂原子之基所取代之碳数1至20之链状、支链状或环状烷基，或该烷基之碳原子的一部份可被杂原子所取代之基〕。094125306-p01.bmp |
| 申请公布号 |
TW200611886 |
申请公布日期 |
2006.04.16 |
| 申请号 |
TW094125306 |
申请日期 |
2005.07.26 |
| 申请人 |
东京应化工业股份有限公司 |
发明人 |
盐野大寿;松丸省吾;羽田英夫 |
| 分类号 |
C07C233/30;C08F120/58;G03F7/004 |
主分类号 |
C07C233/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
