| 摘要 |
本发明为提供一种正型光阻组成物，其为含有具下述式(1)或式(1)’所不结构单位所成群中所选出之1种以上单位(a1)、由含有其内酯之环式基的(α–低级烷基)丙烯酸酯所衍生之单位(a2)及，单位(a1)与单位(a2)以外之由含有具脂肪族环式基之非酸解离性溶解抑制基，且不含极性基之(α–低级烷基)丙烯酸酯所衍生之单位(a3)的高分子化合物，094119865-p01.bmp〔式中，R为氢原子、氟原子或碳数20以下之低级烷基或碳数20以下之氟化低级烷基，R^1为可具有取代基之20员环以下之环式基，n为0或1至5之整数，m为0或1〕。094119865-p02.bmp094119865-p01.bmp |
