用于形成感应器应用之半透性膜的光可聚合聚矽氧材料

摘要

一种制备感应装置(生物感应器)之方法包括以下步骤：(1)将光可图案化聚矽氧组合物施加到感应装置中之表面，以形成薄膜，(2)在不用光阻剂下，藉由一种包括使薄膜通过光罩曝露于辐射之方法使薄膜光图案化，以产生经曝光的薄膜；(3)用显影溶剂移除未曝光薄膜之区域，以形成图案化薄膜，该薄膜形成覆盖感应装置预选择区域之选择渗透层或分析物衰减层(analyteattenuation layer)。