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发明名称
使用潜像的对准
摘要
本发明揭示使用潜像的对准之系统与技术。在一实施方式中,一方法包含:侦测在一基板上的一潜像之位置,依据该侦测的潜像之位置重新定位该基板,以及图案化该基板。
申请公布号
TW200612211
申请公布日期
2006.04.16
申请号
TW094123425
申请日期
2005.07.11
申请人
英特尔股份有限公司
发明人
颜 柏拉多司凯;艾雅 高德尼斯凯
分类号
G03F9/00;G03F7/22
主分类号
G03F9/00
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
美国
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