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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON FILMEN
摘要
申请公布号 AT321154(T) 申请公布日期 2006.04.15
申请号 AT20020710513T 申请日期 2002.02.05
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 HAHAKURA,S;CHOME, KONOHANA-KU;OHMATSU,K;CHOME, KONOHANA-KU
分类号 C23C14/08;C23C14/22;C23C14/28;C23C14/50;H01B13/00;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/28;C23C14/56 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
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