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发明名称 ABSTIMMUNG EINES SUBSTRATTEMPERATURMESSSYSTEMS
摘要
申请公布号 AT321999(T) 申请公布日期 2006.04.15
申请号 AT19990942198T 申请日期 1999.08.13
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 ADERHOLD, WOLFGANG;MAYUR, ABHILASH, J.;KNOOT, PETER, A.
分类号 G01K15/00;G01J5/00;G01J5/10;H01L21/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01J5/00 主分类号 G01K15/00
代理机构 代理人
主权项
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