VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER TA205 DIELEKTRISCHEN SCHICHT,申请号AT19960920294T-传众专利搜索

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发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER TA205 DIELEKTRISCHEN SCHICHT
摘要
申请公布号	AT321359(T)	申请公布日期	2006.04.15
申请号	AT19960920294T	申请日期	1996.05.17
申请人	MICRON TECHNOLOGY, INC.	发明人	SANDHU, GURTEJ, S.;FAZAN, PIERRE, C.
分类号	H01L27/04;H01L21/02;H01L21/316;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/320;H01L29/92;H01L21/70;H01L27/00	主分类号	H01L27/04
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