发明名称 |
GLEICHZEITIGE UND SICH SELBST KALIBRIERENDE ANPASSUNG VON SUBAPERTUREN ZUR MESSUNG VON OBERFLÄCHENFORMEN ( INTERFEROMETER ) |
摘要 |
|
申请公布号 |
AT321992(T) |
申请公布日期 |
2006.04.15 |
申请号 |
AT20020027674T |
申请日期 |
2002.12.12 |
申请人 |
QED TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
GOLINI, DONALD;FORBES, GREGORY;MURPHY, PAUL E. |
分类号 |
G01B11/24;G01B9/02;G01B11/255;G01J9/00;G01M11/00;G01M11/02;G01N21/84;(IPC1-7):G01B11/255;G06T11/00;G02B7/00 |
主分类号 |
G01B11/24 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|