发明名称 GLEICHZEITIGE UND SICH SELBST KALIBRIERENDE ANPASSUNG VON SUBAPERTUREN ZUR MESSUNG VON OBERFLÄCHENFORMEN ( INTERFEROMETER )
摘要
申请公布号 AT321992(T) 申请公布日期 2006.04.15
申请号 AT20020027674T 申请日期 2002.12.12
申请人 QED TECHNOLOGIES, INC. 发明人 GOLINI, DONALD;FORBES, GREGORY;MURPHY, PAUL E.
分类号 G01B11/24;G01B9/02;G01B11/255;G01J9/00;G01M11/00;G01M11/02;G01N21/84;(IPC1-7):G01B11/255;G06T11/00;G02B7/00 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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