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发明名称
KANALFUNKENQUELLE ZUR ERZEUGUNG EINES STABIL GEBÜNDELTEN ELEKTRONENSTRAHLS
摘要
申请公布号
AT321354(T)
申请公布日期
2006.04.15
申请号
AT20030702521T
申请日期
2003.01.24
申请人
FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
发明人
SCHULTEISS, CHRISTOPH;BUTH, LOTHAR-HEINZ-OTTO
分类号
C23C14/30;H01J1/02;H01J3/02;H01J37/077;H05H1/24;(IPC1-7):H01J1/02
主分类号
C23C14/30
代理机构
代理人
主权项
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