摘要 |
Eine Polierzusammensetzung schließt ein Schleifmittel, zumindest eine Verbindung von Azolen und Derivaten hiervon, und Wasser ein. Die Polierzusammensetzung wird in Anwendungen zum Polieren von Oberflächen von Halbleitersubstraten in einer geeigneten Weise verwendet.
|