发明名称 |
Method and system for packaging MEMS devices with incorporated getter |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2005204607(A1) |
申请公布日期 |
2006.04.13 |
申请号 |
AU20050204607 |
申请日期 |
2005.08.31 |
申请人 |
IDC, LLC |
发明人 |
CLARENCE CHUI;LAUREN PALMATEER;BRIAN JAMES GALLY;MANISH KOTHARI;WILLIAM J CUMMINGS |
分类号 |
B81B3/00;B81B7/04;B81C3/00;G02F1/21;G09G3/16;G09G3/36;H04N5/66 |
主分类号 |
B81B3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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