发明名称 Bauteil mit integrierter Kapazitätsstruktur
摘要 Ein Bauteil mit integrierter Kapazitätsstruktur weist mindestens eine erste (M¶1¶) und eine benachbarte zweite (M¶2¶) Umverdrahtungsebene auf, von denen jede wenigstens eine erste Teilstruktur (T¶1¶) und eine von der ersten Teilstruktur verschiedene zweite Teilstruktur (T¶2¶) umfasst, wobei jeweils die zweite Teilstruktur (T¶2¶) die erste Teilstruktur (T¶1¶) im Wesentlichen umgibt und wobei die erste Teilstruktur (T¶11¶) der ersten Umverdrahtungsebene (M¶1¶) mit der zweiten Teilstruktur (T¶22¶) der zweiten Umverdrahtungsebene (M¶2¶) sowie die zweite Teilstruktur (T¶21¶) der ersten Umverdrahtungsebene (M¶1¶) mit der ersten Teilstruktur (T¶12¶) der zweiten Umverdrahtungsebene (M¶2¶) elektrisch verbunden sind und verschiedene Pole der Kapazitätsstruktur bilden. Hierbei weist die erste Teilstruktur (T¶1¶) eine gegenüber ihrer Breitenausdehnung größere Längenausdehnung auf, die entlang einer Vorzugsrichtung verläuft. Die erste und zweite Teilstruktur der zweiten Umverdrahtungsebene (T¶12¶, T¶22¶) sind gegenüber der ersten und zweiten Teilstruktur der ersten Umverdrahtungsebene (T¶11¶, T¶21¶) zur Erzielung der elektrischen Verbindung in Vorzugsrichtung versetzt und die ersten Teilstrukturen der ersten und zweiten Umverdrahtungsebene (T¶12¶, T¶12¶) oder die zweiten Teilstrukturen der ersten und zweiten Umverdrahtungsebene (T¶21¶, T¶22¶) überlappen sich wenigstens teilweise.
申请公布号 DE102004047660(A1) 申请公布日期 2006.04.13
申请号 DE20041047660 申请日期 2004.09.30
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 KROPF, CLAUS
分类号 H01L27/08;H01L21/768;H01L23/528 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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