发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM FESTSTELLEN VON OBERFLÄCHENFEHLERN
摘要
申请公布号 DE69732295(T2) 申请公布日期 2006.04.13
申请号 DE19976032295T 申请日期 1997.08.08
申请人 CENTRE DE RECHERCHE INDUSTRIELLE DU QUEBEC, STE-FOY 发明人 GAUTHIER, PIERRE
分类号 G01N21/89;G01N21/898;G01N33/46 主分类号 G01N21/89
代理机构 代理人
主权项
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