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发明名称
Verfahren zur Dampfphasenabscheidung eines organischen Stoffs
摘要
申请公布号
DE69833341(D1)
申请公布日期
2006.04.13
申请号
DE19986033341
申请日期
1998.05.28
申请人
ULVAC, INC.
发明人
NAGASHIMA, INC.;TAKAHASHI, INC.;NEGISHI, INC.
分类号
B05D7/24;B01B1/00;B01J19/24;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/56
主分类号
B05D7/24
代理机构
代理人
主权项
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