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发明名称 Verfahren zur Bildung eines Abdeckungsmusters
摘要
申请公布号 DE19525745(B4) 申请公布日期 2006.04.13
申请号 DE19951025745 申请日期 1995.07.14
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 BAE, SANG MAN;BAIK, KI HO
分类号 G03F7/00;G03F7/11;G03F7/004;G03F7/09;G03F7/095;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/312 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
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