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发明名称 GASINJEKTIONS-SYSTEM FÜR PLASMA-BEHANDLUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE69829390(T2) 申请公布日期 2006.04.13
申请号 DE19986029390T 申请日期 1998.06.30
申请人 LAM RESEARCH CORP., FREMONT 发明人 MCMILLIN, BRIAN;NGUYEN, HUONG;BARNES, MICHAEL;NI, TOM
分类号 C23C16/44;C23C16/50;C23C16/455;C23C16/507;C30B25/10;C30B25/14;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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