| 发明名称 | 衬底处理装置和温度调节装置 | ||
| 摘要 | 设置第一通道(16)和与第一通道分离的第二通道(19)，且流经第二通道(19)的第二冷却水(18)和第一冷却水(15)进行热交换，其中所述第一通道(16)利用循环的第一冷却水(15)冷却温度调节对象。不需要将第一冷却水(15)储存在一定容量的容器中，且流经第一通道(16)中的冷却器相当部分的的第一冷却水(15)的几乎所有热量被第二冷却水(18)吸收。由此可对温度调节对象的负载变动迅速地进行响应，从而可在提高温度控制的精度的同时，减少能量浪费。 | ||
| 申请公布号 | CN1759470A | 申请公布日期 | 2006.04.12 |
| 申请号 | CN200480006198.9 | 申请日期 | 2004.03.05 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 野沢俊久;小谷光司 |
| 分类号 | H01L21/205(2006.01);G05D23/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/205(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 1.一种衬底处理装置，包括：衬底处理部，具有温度调节对象，并对衬底实施预定处理；第一通道，其中一部分通道通过所述衬底处理部，并使对所述温度调节对象的温度进行调节的第一调温流体循环；第二通道，使与所述第一调温流体进行热交换的第二调温流体流动；以及流量控制单元，至少控制所述第二调温流体的流量。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||