半导体试验装置的校准方法

摘要

本发明的目的在于提供一种能降低成本、简化作业内容、缩短作业时间的半导体试验装置的校准方法。在多个驱动器的每一个与多个比较器的每一个以1对1的方式相对应的状态下，在对于彼此以1对1的方式相对应的时钟信号和选通信号来说以某一方为基准调整了另一方的相位后，取得时钟信号相互间的相对的相位差或选通信号相互间的相对的相位差，根据该相对的相位差来调整多个时钟信号和多个选通信号的相位。

主权项

1.一种半导体试验装置的校准方法，上述半导体试验装置包括：时序发生器，生成试验工作的基本周期内包含的各种时序沿；模式发生器，生成对被试验器件的各引脚输入的模式数据；数据选择器，使从上述模式发生器输出的各种模式数据与上述被试验器件的各引脚相对应；引脚电子线路，具有进行与时钟信号同步的信号的生成工作的驱动器和进行与选通信号同步的比较工作的比较器，根据通过使用由上述模式发生器发生并由上述数据选择器选择的模式数据和由上述时序发生器生成的时序沿的波形控制而生成的上述时钟信号和上述选通信号，生成实际上在与上述被试验器件之间被输入输出的信号；测试器控制部，对于上述时序发生器、上述模式发生器、上述数据选择器、上述引脚电子线路，进行对进行上述时钟信号和上述选通信号的相位调整的校准工作和对上述被试验器件的各种试验工作中所必要的控制，上述校准方法的特征在于，通过上述测试器控制部进行的校准工作具有下述步骤：第1步骤，以与一个上述比较器对应的上述选通信号为基准，调整分别与多个上述驱动器对应的上述时钟信号的相位；以及第2步骤，以在上述第1步骤中相位调整结束了的多个上述时钟信号中各个信号为基准，调整分别与多个上述比较器对应的上述选通信号的相位，其中多个上述比较器分别与多个上述驱动器对应；上述第2步骤中，多个上述驱动器中的各个驱动器分别与多个上述比较器相对应，使用相对应的上述驱动器的输出端和上述比较器的输入端连接的第2校准板进行该步骤。