METHODS AND APPARATUS FOR REDUCING ERROR IN INTERFEROMETRIC IMAGING MEASUREMENTS,申请号EP20040776761-传众专利搜索

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发明名称	METHODS AND APPARATUS FOR REDUCING ERROR IN INTERFEROMETRIC IMAGING MEASUREMENTS
摘要
申请公布号	EP1644699(A2)	申请公布日期	2006.04.12
申请号	EP20040776761	申请日期	2004.06.18
申请人	DIMENSIONAL PHOTONICS, INC.	发明人	SWANSON, GARY, J.;SHIRLEY, LYLE;HUBBARD, BILL;ABBE, ROBERT
分类号	G01B11/25;G01D5/38;(IPC1-7):G01B11/25	主分类号	G01B11/25
代理机构		代理人
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