发明名称 |
Method, apparatus, data carrier and computer program module for monitoring a production process |
摘要 |
<p>Bei einem Verfahren zum Überwachen eines Herstellungsprozesses einer Mehrzahl von physikalischen Objekten werden mehrere Regeln gespeichert, welche mehreren Regeln sich auf zumindest einen Status mindestens eines der Mehrzahl von physikalischen Objekte beziehen. Ferner wird bei dem Verfahren unter Verwenden der mehreren Regeln eine Stichprobe aus der Mehrzahl von physikalischen Objekten ausgewählt, wobei physikalische Objekte der Stichprobe derart markiert werden, dass sie einer Messung unterzogen werden können, wobei die Regeln basierend auf dem Kriterium, dass die Anzahl von Messungen reduziert wird und redundante Messungen vermieden werden, ausgestaltet sind und wobei bei dem Verfahren die mehreren Regeln untereinander kombinierbar und gegeneinander abprüfbar.
</p> |
申请公布号 |
EP1420310(A3) |
申请公布日期 |
2006.04.12 |
申请号 |
EP20030025800 |
申请日期 |
2003.11.11 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
MAERITZ, JOERN;STEINKIRCHNER, ERWIN |
分类号 |
G05B19/418;G05B23/02;H01L21/66 |
主分类号 |
G05B19/418 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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