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发明名称 PLASMA ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060031386(A) 申请公布日期 2006.04.12
申请号 KR20040080394 申请日期 2004.10.08
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, YOUNG WOOK;OH, MIN SEOK;CHOE, HEE HWAN;KIM, SANG GAB
分类号 H01L21/3065;C23F4/00 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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