| 发明名称 | 带有内置光学传感器的抛光垫 | ||
| 摘要 | 一种包含光源(35)和探测器(36)的光学传感器(25)被安置在抛光垫(3)的空腔(2)中，从而面对着被抛光表面(4)。来自光源(35)的光线从被抛光表面(4)上反射，而探测器(36)探测反射的光线。探测器(36)产生的电信号被传送到安置在抛光垫(3)的中心孔(23)中的电子器件集成件(10)中。一次性抛光垫(3)以可拆卸的方式机械和电气连接着集成件(10)。集成件(10)中容纳着电路，该电路用于向光学传感器(25)供应电能和向非旋转控制台(9)传送电信号。系统能够连续地监视被抛光表面的光学特性，即使是在抛光机(1)运转时，而且能够确定抛光过程的终点。 | ||
| 申请公布号 | CN1250372C | 申请公布日期 | 2006.04.12 |
| 申请号 | CN01818877.X | 申请日期 | 2001.09.29 |
| 申请人 | 斯特拉斯保 | 发明人 | 戴维·G·哈利;格雷戈里·L·巴伯;本杰明·C·斯梅德利;斯蒂芬·H·沃尔夫 |
| 分类号 | B24B49/12(2006.01) | 主分类号 | B24B49/12(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 刘兴鹏 |
| 主权项 | 1.一种用于CMP加工中的抛光垫组件，其利用传感器组件探测CMP加工的进度，所述抛光垫组件包括：具有中心的抛光垫；设在抛光垫中的卷轴形空隙，其径向偏离抛光垫中心；以及布置在卷轴形插塞中的传感器组件，所述卷轴形插塞布置在所述卷轴形空隙中；导电体，其布置在抛光垫中与所述传感器组件电连通，并且可取下地连接到一集成件。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||