加热板以及加热板的制造方法

摘要

本发明提供一种能够防止加热板因热应力而引起的变形，并且加热板的导热性良好，耐久性高的加热板及其制造方法的加热板，该加热板(1)，具有：在铝或者铝合金基部件(2)内收容作为内部零件的套管加热器(3)，从其上锻压压接接合用铝或者铝合金部件(4)而密封的结构，从而与将两张板接合的以往的结构相比，成本和生产效率等方面良好，可以作为半导体制造装置和液晶制造装置等各种薄型显示器(FPD)制造装置的加热板使用。而且，可以用于PTP薄板的制造装置等的一般的加热板。

主权项

1.一种加热板，其特征在于，在设置于铝或者铝合金基部件的槽部中收容套管加热器，并且将接合用铝或者铝合金部件嵌合在上述槽部中，并利用锻压压接将上述接合用铝或者铝合金部件和上述铝或者铝合金基部件金属接合。