| 发明名称 |
Micro-electro-mechanical mirror structure manufacture |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1193522(B1) |
申请公布日期 |
2006.04.12 |
| 申请号 |
EP20010307617 |
申请日期 |
2001.09.07 |
| 申请人 |
XEROX CORPORATION |
发明人 |
ROSA, MICHEL A.;PEETERS, ERIC |
| 分类号 |
G02B26/02;G02B26/08;B81B3/00;G02B6/35 |
主分类号 |
G02B26/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
