发明名称 |
照明装置及应用该照明装置的曝光装置和器件制造方法 |
摘要 |
照明装置,包括:第一光积分器,它包括具有与光轴垂直且由多个第一边界定的第一光学件,此第一光积分器均匀地照明-被照面;第二光积分器,它用于均匀地照明此第一光积分器,以使光入射到此第一光积分器上照明此第一光积分器的光入射面照明范围轮廓包括的多个第二边中之各边都不与上述第一边的任一相平行。 |
申请公布号 |
CN1251028C |
申请公布日期 |
2006.04.12 |
申请号 |
CN02143157.4 |
申请日期 |
2002.09.13 |
申请人 |
佳能株式会社 |
发明人 |
森坚一郎 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01);G02B3/00(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
杜日新 |
主权项 |
1.一种照明装置,包括:第一光积分器,它包括多个第一光学件,每个光学件具有与光轴垂直且为多个第一边界定的剖面,此第一光积分器均匀地照明被照面;第二光积分器,它用于以照明范围照明所述第一光积分器,所述第二光积分器包括一个第二光学件,该第二光学件具有与光轴垂直且为多条第二边所界定的剖面,各个第二边都不与任一所述第一边平行;其中,所述照明范围的边缘与所述多个第一光学件的一部分相交。 |
地址 |
日本东京 |