| 发明名称 |
DEVICE FOR STORING AND/OR TRANSPORTING PLATE-SHAPED SUBSTRATES IN THE MANUFACTURE OF ELECTRONIC COMPONENTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1644959(A1) |
申请公布日期 |
2006.04.12 |
| 申请号 |
EP20040738069 |
申请日期 |
2004.07.08 |
| 申请人 |
TEC-SEM AG |
发明人 |
BLATTNER, JAKOB;FEDERICI, RUDY |
| 分类号 |
H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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