图像传感器及其制造方法

摘要

公开了一种图像传感器及其制造方法。在其上形成有器件的衬底上形成金属连线，该金属连线由下层金属连线、上层金属连线和连接下层与上层金属连线的插塞组成，其中下层与上层金属连线由透明导电膜图案制成，所述器件包括光电二极管和栅电极。然后在金属连线上依次形成钝化膜、滤色器和微透镜。金属连线的全部或一部分形成在透明导电膜图案中。这样，在光电二极管上形成了金属连线。

主权项

1、一种图像传感器，包括：其上形成有器件的衬底，所述器件包括光电二极管和栅电极；形成在所述衬底上的透明导电材料的金属连线，其用于将所述器件的信号传送到电路；形成在所述金属连线上用于保护所述器件的钝化膜；形成在所述钝化膜上用于实现图像的滤色器；以及形成在所述滤色器上用于收集光的微透镜。