发明名称 Copolymer for oxide pattern and method for oxide pattern formation thereof
摘要
申请公布号 KR100570285(B1) 申请公布日期 2006.04.12
申请号 KR20040006851 申请日期 2004.02.03
申请人 发明人
分类号 G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
地址