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发明名称
摘要
申请公布号 JP3765329(B2) 申请公布日期 2006.04.12
申请号 JP19960153769 申请日期 1996.06.14
申请人 发明人
分类号 C01F11/22;C30B11/00;C30B29/12;G03F7/20 主分类号 C01F11/22
代理机构 代理人
主权项
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