| 主权项 |
1.一种气体供应装置,系为一种使载置于一设置台 上之一气体容器中所填充之液化气体在该气体容 器内气化并供给之气体供应装置,其特征在于使朝 向该气体容器底面喷出热媒体之一喷嘴插入设置 于该设置台中央部之一贯通孔,并且设置有从该气 体容器底面与该设置台上面之间的空间排出该热 媒体之一热媒体排出路径,以及该设置台是由能够 测定该气体容器之重量变化的一重量测定装置所 支撑。 2.如申请专利范围第1项所述之气体供应装置,其特 征为该热媒体排出路径为设置在该设置台中之通 孔。 3.如申请专利范围第1项所述之气体供应装置,其特 征为该热媒体排出路径为设置在该设置台上之凹 凸。 4.如申请专利范围第1项所述之气体供应装置,其特 征为设置有包覆于该气体容器周围之筒状体,并且 该热媒体排出路径是形成使从该气体容器底面部 分排出之热媒体从该气体容器与该筒状体之间流 出。 5.如申请专利范围第1项所述之气体供应装置,其特 征为该喷嘴系对应该设置台而设置成非接触状态 。 6.如申请专利范围第1项所述之气体供应装置,其特 征为具备有可测定从该气体容器供给的一气体之 压力的一压力测定装置与测定该气体之流量的该 流量测定装置,以及根据该压力测定装置与该流量 测定装置之测定値调节热媒体之温度的一温度调 节装置。 7.一种气体供应方法,系为一种利用温度经调节之 一热媒体加温或冷却填充有液化气体之一气体容 器以一边调节该气体容器内之液化气体的蒸发量 一边供给气化气体之方法,其特征在于测定从该气 体容器供给之一气体的压力与流量,当一测定之流 量与预先设定之一基准流量相比超过预先设定之 一容许流量变动范围时,根据该测定之流量与该基 准流量之差调节该热媒体之温度,当该测定之流量 与预先设定之该基准流量相比处于预先设定之该 容许流量变动范围时,根据测定之压力与预先设定 之基准压力之差调节该热媒体之温度。 8.一种气体供应方法,系为一种利用温度经调节之 一热媒体加温或冷却填充有液化气体之一气体容 器以一边调节该气体容器内之液化气体的蒸发量 一边供给气化气体之方法,其特征在于测定从该气 体容器供给之气体的压力与流量,当一测定之压力 与预先设定之一基准压力相比低于预先设定之一 下限压力时,根据一测定之流量与预先设定之一基 准流量之差调节该热媒体之温度,当该测定之压力 超过该下限压力时,根据该测定之压力与预先设定 之该基准压力之差调节该热媒体之温度。 图式简单说明: 第1图为绘示本发明第一实施例之气体供应装置剖 面正面图。 第2图为绘示本发明第一实施例之气体供应装置剖 面平面图。 第3图为绘示本发明第二实施例之气体供应装置剖 面正面图。 第4图为绘示本发明第二实施例之气体供应装置剖 面平面图。 第5图为绘示本发明第三实施例之气体供应装置剖 面正面图。 第6图为绘示本发明第四实施例之气体供应装置剖 面正面图。 第7图为绘示本发明气体供应方法之概略方块图。 第8图为绘示本发明之方法与习知方法在气体容器 内之压力变化状况示意图。 |
