| 主权项 |
1.一种喷头单元之组装装置,属于将各别保持于喷 头保持构件之复数之液滴吐出喷头,临接藉由前述 喷头保持构件,假装着于单一之支架之喷头单元, 将前述各液滴吐出喷头定位于前述支架之状态加 以固定之喷头单元之组装装置,其特征系具备 将前述支架之位置及各液滴吐出喷头之位置,各别 画像辨识之辨识手段, 和保持前述支架的同时,将前述支架向XY轴 方向移动之移动手段, 和卡合于前述喷头保持构件,将前述喷头保持构件 向XY轴方向微少移动的补正手段, 和将前述喷头保持构件固定于支架之固定手段, 和控制前述辨识手段、前述移动手段、前述补正 手段及前述固定手段的控制手段; 前述控制手段系根据前述辨识手段之辨识结果,驱 动前述移动手段,定位前述支架之后,驱动前述补 正手段,对于前述支架,藉由前述各喷头保持构件, 定位前述各液滴吐出喷头,更且驱动前述固定手段 ,藉由前述各喷头保持构件,将前述液滴吐出喷头 固定于前述支架者。 2.如申请专利范围第1项之喷头单元之组装装置,其 中,具备将前述支架之位置及搭载于前述支架之前 述液滴吐出喷头之位置图案形成之校准掩罩; 前述控制手段系藉由前述辨识手段,根据由保持于 前述移动手段之前述校准掩罩及前述喷头单元各 别所得之掩罩位置资料及单元位置资料,控制前述 移动手段、前述修正手段及前述固定手段。 3.如申请专利范围第1项或第2项之喷头单元之组装 装置,其中,前述支架之位置辨识乃将相互隔离设 于前述支架之2个基准标记,前述辨识手段经由各 别画像辨识而进行, 前述辨识手段乃具备经由对于前述支架之X轴方向 及Y轴方向之任一方向之相对性移动,将前述2个之 基准标记各别置入视野内的辨识摄影机。 4.如申请专利范围第1项或第2项之喷头单元之组装 装置,其中,前述各液滴吐出喷头之位置辨识乃将 形成于前述液滴吐出喷头之喷嘴形成面的喷嘴列 所隔离之2个喷嘴,使前述辨识手段各别加以画像 辨识而进行。 5.如申请专利范围第1项或第2项之喷头单元之组装 装置,其中,前述液滴吐出喷头乃于使喷嘴形成面 朝上之状态,藉由前述喷头保持构件,吊挂于前述 支架地加以假装着, 前述移动手段乃具有XY轴移动平台, 和固定于前述XY轴移动平台之轴移动平 台上,将前述液滴吐出喷头以朝上之状态,保持前 述支架的组装构成。 6.如申请专利范围第1项或第2项之喷头单元之组装 装置,其中,于前述喷头保持构件,前述补正手段被 卡合的同时,形成相互隔离配设之2个卡合孔, 前述补正手段系具有XY轴移动平台, 安装于XY轴移动平台之轴移动平台上的Z 轴移动平台, 和安装于前述Z轴移动平台,卡合于前述喷头保持 构件之2个卡合孔的一对卡合臂。 7.如申请专利范围第1项或第2项之喷头单元之组装 装置,其中,前述固定手段系于前述喷头保持构件 和前述支架之间,涂布黏着剂之黏着剂涂布机构, 和将前述黏着剂涂布机构,向XYZ轴方向移动之 移动平台。 8.一种喷头单元之组装装置,属于将复数之液滴吐 出喷头,临接于假装着于单一之支架之喷头单元, 将前述各液滴吐出喷头定位于前述支架之状态加 以固定之喷头单元之组装装置,其特征系具备 将前述支架之位置及各液滴吐出喷头之位置,各别 画像辨识之辨识手段, 和保持前述支架的同时,将前述支架向XY轴 方向移动之移动手段, 和卡合于前述液滴吐出喷头,将前述液滴吐出喷头 向XY轴方向微少移动的补正手段, 和将前述液滴吐出喷头固定于前述支架之固定手 段, 和控制前述辨识手段、前述移动手段、前述补正 手段及前述固定手段的控制手段; 前述控制手段系根据前述辨识手段之辨识结果,驱 动前述移动手段,定位前述支架之后,驱动前述补 正手段,对于前述支架,藉由前述各喷头保持构件, 定位前述各液滴吐出喷头,再者驱动前述固定手段 ,将定位前述各液滴吐出喷头,固定于前述支架者 。 9.一种喷头单元之组装方法,属于各别保持于喷头 保持构件之复数之液滴吐出喷头,临接藉由前述喷 头保持构件,假装着于单一之支架之喷头单元,将 前述各液滴吐出喷头定位于前述支架之状态加以 固定之喷头单元之组装方法,其特征系具备 画像辨识前述支架之位置之支架辨识工程, 和根据前述支架辨识工程之辨识结果,定位前述支 架之支架定位工程, 和画像辨识前述各液滴吐出喷头之位置的喷头辨 识工程, 和根据前述喷头辨识工程之辨识结果,对于前述支 架,定位前述各液滴吐出喷头之喷头定位工程, 和将前述定位之前述各液滴吐出喷头,固定于前述 支架之固定工程。 10.如申请专利范围第9项之喷头单元之组装方法, 其中,将前述喷头辨识工程,前喷头定位工程及前 述固定工程,依此工程顺序,数分重覆前述液滴吐 出喷头。 11.如申请专利范围第9项或第10项之喷头单元之组 装方法,其中,前述固定工程系更具备经由黏着剂, 将前述喷头保持构件黏着于前述支架而进行, 前述固定工程之后,将前述喷头保持构件机械性固 定于前述支架之本固定工程。 12.如申请专利范围第9项或第10项之喷头单元之组 装方法,其中,准备将前述支架之位置及搭载于前 述支架之前述各液滴吐出喷头之位置图案形成之 校准用掩罩, 根据自前述支架定位工程及前述喷头单元各别所 得之掩罩位置资料及单元位置资料,各别而成者。 13.一种喷头单元之组装方法,属于将复数之液滴吐 出喷头,临接于假装着于单一之支架之喷头单元, 将前述各液滴吐出喷头定位于前述支架之状态加 以固定之喷头单元之组装方法,其特征系具备 画像辨识前述支架之位置之支架辨识工程, 和根据前述支架辨识工程之辨识结果,定位前述支 架之支架定位工程, 和画像辨识前述各液滴吐出喷头之位置的喷头辨 识工程, 和根据前述喷头辨识工程之辨识结果,对于前述支 架,定位前述各液滴吐出喷头之喷头定位工程, 和将前述定位之前述各液滴吐出喷头,固定于前述 支架之固定工程。 14.一种液滴吐出喷头之定位装置,属于将保持于喷 头保持构件之液滴吐出喷头,固定于搭载支架之前 ,藉由前述喷头保持构件,将假装着于前述支架的 前述液滴吐出喷头,定位于前述支架的液滴吐出喷 头之定位装置,其特征系具备 画像辨识前述液滴吐出喷头之位置之辨识手段, 和卡合于前述喷头保持构件,将前述喷头保持构件 ,相对于XY轴方向微少移动的补正手段, 和控制前述辨识手段及前述补正手段的控制手段; 前述控制手段乃根据前述辨识手段之辨识结果,驱 动前述补正手段,对于前述支架,藉由前述喷头保 持构件,定位前述液滴吐出喷头者。 15.如申请专利范围第14项之液滴吐出喷头之定位 装置,其中,具备图案形成对于前述支架之前述液 滴吐出喷头之位置的校准掩罩; 前述控制手段乃藉由前述辨识手段,根据由前述校 准掩罩所得掩罩位置资料和由前述液滴吐出喷头 所得喷头位置资料,控制前述补正手段。 16.如申请专利范围第14项之液滴吐出喷头之定位 装置,其中,前述液滴吐出喷头之位置乃将形成于 该液滴吐出喷头之喷嘴形成面的喷嘴列所隔离之2 个喷嘴,前述辨识手段经由各别画像辨识而进行, 前述辨识手段乃具备将前述2个之喷嘴各别同时置 入视野内的辨识摄影机。 17.如申请专利范围第16项之液滴吐出喷头之定位 装置,其中,前述辨识手段乃具有可调节前述2个之 辨识摄影机之相互之视野间尺寸的视野间调节机 构。 18.如申请专利范围第14项至第17项之任一项之液滴 吐出喷头之定位装置,其中,于前述喷头保持构件, 前述补正手段被卡合的同时,形成相互隔离配设之 2个卡合孔, 前述补正手段系具有XY轴移动平台, 安装于XY轴移动平台之轴移动平台上的Z 轴移动平台, 和安装于前述Z轴移动平台,卡合于前述喷头保持 构件之2个卡合孔的一对卡合臂。 19.如申请专利范围第18项之液滴吐出喷头之定位 装置,其中,XY轴移动平台之X轴移动平台及Y 轴移动平台,乃具有构成各驱动源之线性马达,和 导引移动之空气滑动器。 20.如申请专利范围第18项之液滴吐出喷头之定位 装置,其中,前述各卡合臂乃具有前述部插入至前 述各卡合孔之卡合插梢, 前述卡合插梢之前端部乃形成成为将前端侧经由 前述卡合孔成为细径,将基端侧经由前述卡合孔而 成粗径的推拔形状。 21.如申请专利范围第20项之液滴吐出喷头之定位 装置,其中,前述各卡合臂乃更具有将前述卡合插 梢,保持成该轴方向之进退自如的插梢支持器, 和将前述卡合插梢向突出方向弹播之弹簧。 22.如申请专利范围第18项之液滴吐出喷头之定位 装置,其中,前述喷头保持构件之2个卡合孔乃一方 形成成为圆形,另一方形成成为长圆形者。 23.一种液滴吐出喷头之定位装置,属于将液滴吐出 喷头,固定于搭载支架之前,将假装着于前述支架 的前述液滴吐出喷头,定位于前述支架的液滴吐出 喷头之定位装置,其特征系具备 画像辨识前述液滴吐出喷头之位置之辨识手段, 和卡合于前述液滴吐出喷头,将前述各液滴吐出喷 头,相对于XY轴方向微少移动的补正手段, 和控制前述辨识手段及前述补正手段的控制手段; 前述控制手段乃根据前述辨识手段之辨识结果,驱 动前述补正手段,对于前述支架,定位前述各液滴 吐出喷头之。 24.一种喷头单元之组装装置,其特征你具备如申请 专利范围第14项至第23项之任一项之液滴吐出喷头 之定位装置。 25.一种液滴吐出喷头之定位方法,属于将搭载于喷 头保持构件之液滴吐出喷头,固定于搭载支架之前 ,藉由前述喷头保持构件,将假装着于前述支架的 前述液滴吐出喷头,定位于前述支架的液滴吐出喷 头之定位方法,其特征系具备 画像辨识前述液滴吐出喷头之位置之喷头辨识工 程, 和根据前述喷头辨识工程之辨识结果,对于前述支 架,藉由前述喷头保持构件,定位前述液滴吐出喷 头之喷头定位工程者。 26.如申请专利范围第25项之液滴吐出喷头之定位 方法,其中,准备图案形成搭载于前述支架之前述 液滴吐出喷头之位置的校准掩罩, 前述喷头定位工程乃根据同一条件下,由前述校准 掩罩及前述液滴吐出喷头各别所得之掩罩位置资 料及喷头位置资料而成者。 27.一种液滴吐出喷头之定位方法,属于将液滴吐出 喷头,固定于搭载支架之前,将假装着于前述支架 的前述液滴吐出喷头,定位于前述支架的液滴吐出 喷头之定位方法,其特征系具备 画像辨识前述液滴吐出喷头之位置之喷头辨识工 程, 和根据前述辨识工程之辨识结果,对于前述支架, 定位前述液滴吐出喷头之喷头定位工程者。 28.一种液滴吐出喷头之固定装置,属于将搭载于喷 头保持构件之液滴吐出喷头,定位于搭载此之支架 的状态下加以固定之液滴吐出喷头之固定装置,其 特征系具备 保持前述支架之支架保持手段, 和藉由前述喷头保持构件,将前述液滴吐出喷头对 于前述支架保持于定位状态之喷头保持手段, 和于此状态,于前述喷头保持构件和前述支架间, 注入黏着剂之黏着剂注入手段。 29.如申请专利范围第28项之液滴吐出喷头之固定 装置,其中,前述喷头保持构件乃兼具藉由前述喷 头保持构件,将前述液滴吐出喷头定位于前述支架 之定位手段。 30.如申请专利范围第28项或第29项之液滴吐出喷头 之固定装置,其中,于前述喷头保持手段中,组装有 计时器,前述喷头保持手段乃注入前述黏着剂后, 前述黏着剂到达所定黏着强度之时间,将前述液滴 吐出喷头保持于定位状态者。 31.如申请专利范围第28项或第29项之液滴吐出喷头 之固定装置,其中,前述黏着剂注入手段乃具有于 前述喷头保持构件和前述支架间,注入黏着剂之黏 着剂注入机构, 和将前述黏着剂注入机构向XYZ轴方向移动之 移动平台。 32.如申请专利范围第31项之液滴吐出喷头之固定 装置,其中,前述移动平台之X轴移动平台、Y轴移动 平台及Z轴移动平台乃各驱动源以汽缸加以构成者 。 33.如申请专利范围第31项之液滴吐出喷头之固定 装置,其中,挟持前述液滴吐出喷头之喷嘴形成面, 于与前述喷头保持构件之前述支架之接触部,贯通 前该接触部,形成一对之黏着剂注入孔, 前述黏着剂注入机构乃具有对只于前述一对之黏 着剂注入孔之一对之黏着剂注入喷嘴。 34.如申请专利范围第33项之液滴吐出喷头之固定 装置,其中,前述喷头保持构件之前述一对之黏着 剂注入孔,乃向X轴方向或Y轴方向些微隔离,形成2 组, 对应于此,前述移动平台之X轴移动平台或Y轴移动 平台,乃具有令前述黏着剂注入机构往复移动前述 间隔尺寸部分之副平台。 35.如申请专利范围第33项之液滴吐出喷头之固定 装置,其中,前述各黏着剂注入孔之前述支架侧之 端部被加以倒角者。 36.如申请专利范围第33项之液滴吐出喷头之固定 装置,其中,前述各黏着剂注入喷嘴乃对于Z轴倾斜, 前述各黏着剂注入孔乃向前述倾斜方向形成成长 的长孔。 37.一种液滴吐出喷头之固定装置,属于将液滴吐出 喷头,定位于搭载此之支架的状态下加以固定之液 滴吐出喷头之固定装置,其特征系具备 保持前述支架之支架保持手段, 和将前述液滴吐出喷头,对于前述支架保持于定位 状态之喷头保持手段, 和于此状态,于前述喷头保持构件和前述支架间, 注入黏着剂之黏着剂注入手段。 38.一种喷头单元之组装装置,其特征系具备如申请 专利范围第28项至第37项之任一项之液滴吐出喷头 之固定装置。 39.一种液滴吐出喷头之固定方法,属于将搭载于喷 头保持构件之液滴吐出喷头,定位于搭载此之支架 的状态下加以固定之液滴吐出喷头之固定方法,其 特征系具备藉由前述喷头保持构件,将前述液滴吐 出喷头,对于前述支架保持于定位状态之喷头保持 工程, 和于此状态,于前述喷头保持构件和前述支架间, 注入黏着剂之黏着剂注入工程。 40.一种液滴吐出喷头之固定方法,属于将液滴吐出 喷头,定位于搭载此之支架的状态下加以固定之液 滴吐出喷头之固定方法,其特征系具备 将前述液滴吐出喷头,对于前述支架保持于定位状 态之喷头保持工程, 和于此状态,于前述喷头保持构件和前述支架间, 注入黏着剂之黏着剂注入工程。 41.一种液晶显示装置之制造方法,属于使用如申请 专利范围第1项至第8项之任一项之喷头单元之组 装装置所组装的喷头单元,于彩色滤色片之基板上 ,形成多数之滤色片单元之液晶显示装置之制造方 法,其特征系前述复数之液滴吐出喷头导入各色之 滤色片材料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于前述基板相对地加以扫瞄,选择性吐出前述滤 色片材料,形成多数之前述滤色片单元。 42.一种有机电激发光装置之制造方法,属于使用如 申请专利范围第1项至第8项之任一项之喷头单元 之组装装置所组装的喷头单元,于基板上之多数之 图素画素,各形成电激发光层之有机电激发光装置 之制造方法,其特征系前述复数之液滴吐出喷头导 入各色之发光材料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于前述基板相对地加以扫瞄,选择性吐出前述发 光材料,形成多数之前述电激发光层。 43.一种电子放出装置之制造方法,属于使用如申请 专利范围第1项至第8项之任一项之喷头单元之组 装装置所组装的喷头单元,于电极上,形成多数之 萤光体之电子放出装置之制造方法,其特征系前述 复数之液滴吐出喷头导入各色之萤光材料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于前述电极相对地加以扫瞄,选择性吐出前述萤 光材料,形成多数之前述萤光体。 44.一种电浆显示装置之制造方法,属于使用如申请 专利范围第1项至第8项之任一项之喷头单元之组 装装置所组装的喷头单元,于背面基板上之凹部, 各形成萤光体之电浆显示装置之制造方法,其特征 系于前述复数之液滴吐出喷头导入各色之萤光材 料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于前述背面基板相对地加以扫瞄,选择性吐出前 述萤光材料,形成多数之前述萤光体。 45.一种电泳显示装置之制造方法,属于使用如申请 专利范围第1项至第8项之任一项之喷头单元之组 装装置所组装的喷头单元,于电极上之多数之凹部 ,各形成泳动体之电泳显示装置之制造方法,其特 征系于前述复数之液滴吐出喷头导入各色之泳动 体材料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于前述背面基板相对地加以扫瞄,选择性吐出前 述泳动体材料,形成多数之前述泳动体。 46.一种彩色滤色片之制造方法,属于使用如申请专 利范围第1项至第8项之任一项之喷头单元之组装 装置所组装的喷头单元,于基板上,制造排列多数 滤色片单元所成之彩色滤色片的彩色滤色片之制 造方法,其特征系于前述复数之液滴吐出喷头导入 各色之滤色片材料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于前述基板相对地加以扫瞄,选择性吐出前述滤 色片材料,形成多数之前述滤色片单元。 47.如申请专利范围第46项之彩色滤色片之制造方 法,其中,前述多数之滤色片单元乃收容于经由设 于前述基板上之凸状之间隔壁所形成之凹部, 于形成前述滤色片单元之前, 于前述复数之液滴吐出喷头导入间隔壁材料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于前述基板相对地加以扫瞄,选择性吐出前述间 隔壁材料,形成前述间隔壁。 48.如申请专利范围第47项之彩色滤色片之制造方 法,其中,形成被覆前述多数之滤色片单元及前述 间隔壁的外敷膜, 于形成前述滤色片单元之后, 于前述复数之液滴吐出喷头导入透光性之涂布材 料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于前述基板相对地加以扫瞄,选择性吐出前述涂 布材料,形成前述外敷膜。 49.一种有机电激发光装置之制造方法,属于使用如 申请专利范围第1项至第8项之任一项之喷头单元 之组装装置所组装的喷头单元,将包含电激发光层 之多数之复数之图素画素,于基板上加以排列所成 之有机电激发光装置之制造方法,其特征系于前述 复数之液滴吐出喷头导入各色之发光材料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于前述基板相对地加以扫瞄,选择性吐出前述发 光材料,形成多数之前述电激发光层。 50.如申请专利范围第49项之有机电激发光装置之 制造方法,其中,前述多数之电激发光层乃收容于 经由设于前述基板上之凸状之间隔壁所形成之凹 部, 于形成前述电激发光层之前, 于前述复数之液滴吐出喷头导入间隔壁材料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于前述基板相对地加以扫瞄,选择性吐出前述间 隔壁材料,形成前述间隔壁。 51.如申请专利范围第50项之有机电激发光装置之 制造方法,其中,于前述多数之电激发光层和前述 基板之间,对应电激发光层,形成多数之画素电极, 于形成前述间隔壁之前, 于前述复数之液滴吐出喷头导入液状电极材料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于前述基板相对地加以扫瞄,选择性吐出前述液 状电极材料,形成前述画素电极。 52.如申请专利范围第51项之有机电激发光元件之 制造方法,其中,被覆前述多数之电激发光层及前 述间隔壁地,形成对向电极, 于形成前述滤色片单元之后, 于前述复数之液滴吐出喷头导入液状电极材料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于前述基板相对地加以扫瞄,选择性吐出前述液 状电极材料,形成前述对向电极。 53.一种间隔物形成方法,属于使用如申请专利范围 第1项至第8项之任一项之喷头单元之组装装置所 组装的喷头单元,于2枚基板间,为构成微小晶胞间 隔,形成多数之粒子状之间隔物的间隔物形成方法 ,其特征系于前述复数之液滴吐出喷头导入构成间 隔物之粒子材料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于至少一方之前述基板相对地加以扫瞄,选择性 吐出前述粒子材料,于前述基板上形成前述间隔物 。 54.一种金属配线形成方法,属于使用如申请专利范 围第1项至第8项之任一项之喷头单元之组装装置 所组装的喷头单元,于基板上,形成金属配线之金 属配线形成方法,其特征系于前述复数之液滴吐出 喷头导入液状金属材料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于前述基板相对地加以扫瞄,选择性吐出前述液 状金属材料,形成前述金属配线。 55.一种透镜形成方法,属于使用如申请专利范围第 1项至第8项之任一项之喷头单元之组装装置所组 装的喷头单元,于基板上,形成多数之微透镜之透 镜形成方法,其特征系于前述复数之液滴吐出喷头 导入透镜材料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于前述基板相对地加以扫瞄,选择性吐出前述透 镜材料,形成多数之前述微透镜。 56.一种光阻剂形成方法,属于使用如申请专利范围 第1项至第8项之任一项之喷头单元之组装装置所 组装的喷头单元,于基板上,形成任意形状之光阻 剂之光阻剂形成方法,其特征系于前述复数之液滴 吐出喷头导入光阻剂材料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于前述基板相对地加以扫瞄,选择性吐出前述光 阻剂材料,形成前述光阻剂。 57.一种光扩散体形成方法,属于使用如申请专利范 围第1项至第8项之任一项之喷头单元之组装装置 所组装的喷头单元,于基板上,形成多数之光扩散 体之光扩散体形成方法,其特征系于前述复数之液 滴吐出喷头导入光扩散体材料, 藉由前述喷头单元,将前述复数之液滴吐出喷头, 对于前述基板相对地加以扫瞄,选择性吐出前述光 扩散体材料形成多数之前述光扩散体。 图式简单说明: 【图1】 有关实施形态之喷头单元之平面图。 【图2】 有关实施形态之喷头单元之正面图。 【图3】 有关实施形态之喷头单元之侧面图。 【图4】 实施形态之基准插梢之构造图。 【图5】 实施形态之液滴吐出喷头周围之截面图。 【图6】 将实施形态之液滴吐出喷头模式性加以显示之斜 视图。 【图7】 实施形态之液滴吐出喷头之扩大截面图。 【图8】 实施形态之喷头保持构件之构造图。 【图9】 显示使用实施形态之组装工具之喷头单元之组装 方法的扩大斜视图。 【图10】 实施形态之组装工具之构成图。 【图11】 显示使用实施形态之组装工具之喷头单元之组装 方法的平面图。 【图12】 显示使用实施形态之组装工具之喷头单元之组装 方法的正面图。 【图13】 实施形态之描绘装置之模式图。 【图14】 实施形态之描绘装置之主支架之斜视图。 【图15】 实施形态之描绘装置之主支架之平面图。 【图16】 显示喷头单元之组装方法之说明图。 【图17】 实施形态之描绘装置之接触装置之模式图。 【图18】 实施形态之校准光罩之主板之构造图。 【图19】 实施形态之校准光罩之平面图。 【图20】 实施形态之校准光罩之正面图。 【图21】 由实施形态之组装装置之正面侧所见之整体斜视 图。 【图22】 由实施形态之组装装置之背面侧所见之整体斜视 图。 【图23】 实施形态之组装装置之整体平面图。 【图24】 实施形态之组装装置之整体正面图。 【图25】 由实施形态之组装装置之左侧所见之整体侧面图 。 【图26】 实施形态之单元移动装置之XY平台周围之斜视 图。 【图27】 实施形态之单元移动装置之组装平台之构造图。 【图28】 实施形态之单元移动装置之平台之平面图。 【图29】 实施形态之单元移动装置之平台之裁断截面图 。 【图30】 实施形态之单元移动装置之平台之正面图。 【图31】 实施形态之单元移动装置之XY平台周围之平面 图。 【图32】 实施形态之单元移动装置之XY平台周围之正面 图。 【图33】 实施形态之喷头补正装置之补正用XY平台周围 之斜视图。 【图34】 实施形态之喷头补正装置之补正用XY平台周围 之平面图。 【图35】 实施形态之喷头补正装置之补正用XY平台周围 之正面图。 【图36】 实施形态之喷头补正装置之补正用XY平台周围 之侧面图。 【图37】 实施形态之喷头补正装置之臂单元之斜视图。 【图38】 实施形态之喷头补正装置之臂单元之正面图。 【图39】 实施形态之喷头补正装置之臂单元之侧面图。 【图40】 臂单元之卡合臂之截面图。 【图41】 实施形态之辨识装置之斜视图。 【图42】 实施形态之辨识装置之平面图。 【图43】 实施形态之辨识装置之正面图。 【图44】 实施形态之辨识装置之侧面图。 【图45】 实施形态之假固定装置之整体斜视图。 【图46】 实施形态之假固定装置之平面图。 【图47】 实施形态之假固定装置之正面图。 【图48】 实施形态之假固定装置之侧面图。 【图49】 黏着剂涂布装置之侧面图。 【图50】 有关实施形态之控制装置之方块图。 【图51】 经由实施形态之彩色滤色片之制造方法所制造之 彩色滤色片之部分扩大图。 【图52】 将实施形态之彩色滤色片之制造方法模式性显示 之制造工程截面图。 【图53】 经由实施形态之彩色滤色片之制造方法所制造之 液晶显示装置之截面图。 【图54】 经由实施形态之有机EL之制造方法所制造之显示 装置之电路图。 【图55】 显示装置之画素范围之平面构造之扩大平面图。 【图56】 将第1实施形态之有机EL之制造方法模式性显示之 制造工程(1)之截面图。 【图57】 将第1实施形态之有机EL之制造方法模式性显示之 制造工程(2)之截面图。 【图58】 将第1实施形态之有机EL之制造方法模式性显示之 制造工程(3)之截面图。 【图59】 模式性显示有关第1实施形态之变形例之有机EL之 制造方法的截面图。 【图60】 模式性显示有关第2实施形态之有机EL之制造方法 的平面图及截面图。 【图61】 模示性显示第3实施形态之有机EL之制造方法的截 面图。 【图62】 模示性显示第4实施形态之有机EL之制造方法的截 面图。 【图63】 模示性显示第5实施形态之有机EL之制造方法的截 面图。 【图64】 模示性显示第6实施形态之有机EL之制造方法的截 面图。 【图65】 模示性显示第8实施形态之有机EL之制造方法的截 面图。 【图66】 模示性显示第8实施形态之变形例之有机EL之制造 方法的截面图。 【图67】 模示性显示实施形态之描绘装置之支架之辨识动 作图。 |
