发明名称 POSITIVE PHOTORESIST COMPOSITION FOR EXPOSURE TO FAR ULTRAVIOLET LIGHT
摘要
申请公布号 KR100569641(B1) 申请公布日期 2006.04.11
申请号 KR19990026473 申请日期 1999.07.02
申请人 发明人
分类号 C08L101/00;C09D201/00;G03F7/039;H01L21/027 主分类号 C08L101/00
代理机构 代理人
主权项
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