Spectroscopic ellipsometer for automatic measurement of retardance,申请号KR20040065127-传众专利搜索

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发明名称	Spectroscopic ellipsometer for automatic measurement of retardance
摘要
申请公布号	KR100568160(B1)	申请公布日期	2006.04.07
申请号	KR20040065127	申请日期	2004.08.18
申请人		发明人
分类号	G01J4/00;G01J4/04	主分类号	G01J4/00
代理机构		代理人
主权项
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