发明名称 Fabrication methods of a semiconductor device having multi-gate patterns
摘要
申请公布号 KR100568540(B1) 申请公布日期 2006.04.07
申请号 KR20040063629 申请日期 2004.08.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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