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经营范围
发明名称
Abscheidung einer Diffusionsbarriereschicht
摘要
申请公布号
DE69833140(D1)
申请公布日期
2006.04.06
申请号
DE19986033140
申请日期
1998.03.18
申请人
FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC.
发明人
JAIN, AJAY;WEITZMAN, ELIZABETH
分类号
H01L21/285;C23C16/34;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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