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发明名称
摘要
申请公布号	JP2006511967(A)	申请公布日期	2006.04.06
申请号	JP20050501718	申请日期	2004.02.23
申请人		发明人
分类号	H01L21/027;G03B27/54;G03B27/72;G03C5/00;G03F;G03F7/20;G03F9/00	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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