VERFAHREN ZUM POLIEREN EINER SPEICHER- ODER FESTPLATTE MIT EINER ZUSAMMENSETZUNG, DIE AMINOSÄUREN ENTHÄLT

摘要

A method of planarizing or polishing the surface of a memory or rigid disk comprising abrading at least a portion of the surface with (i) a polishing composition comprising an oxidizing agent selected from the group consisting of persulfates and peroxides, an amino acid, and water, and (ii) an abrasive.