发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ELEKTRISCHEN NULLPUNKTABGLEICH FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT
摘要
申请公布号 DE50108760(D1) 申请公布日期 2006.04.06
申请号 DE20015008760 申请日期 2001.06.01
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 TANTEN, LEO;FRANZ, JOCHEN;SCHOEFTHALER, MARTIN;ROHR, MARIUS;EMMERICH, HARALD;HAUTE, MATTHIAS;WALKER, THOMAS
分类号 G01P15/13;G01C19/56;G01P15/125;G01P21/00 主分类号 G01P15/13
代理机构 代理人
主权项
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