发明名称 APPARATUS FOR USE IN COATING PHOTO RESIST
摘要
申请公布号 KR20060029317(A) 申请公布日期 2006.04.06
申请号 KR20040078203 申请日期 2004.10.01
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, JONG HAW
分类号 G03F7/16 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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