MAIN PLATE OF SUSCEPTOR,申请号KR20060024890-传众专利搜索

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发明名称	MAIN PLATE OF SUSCEPTOR
摘要
申请公布号	KR20060029666(A)	申请公布日期	2006.04.06
申请号	KR20060024890	申请日期	2006.03.17
申请人	MICRO TECH CO., LTD.	发明人	SONG, SUNG TAI
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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