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发明名称 Wärmebehandlungsanlage
摘要
申请公布号 DE60116533(D1) 申请公布日期 2006.04.06
申请号 DE20016016533 申请日期 2001.01.26
申请人 TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 TAKANORI, TOKYO ELECTRON TOHOKU LTD.;TSUYOSHI, TOKYO ELECTRON TOHOKU LTD.;KENICHI, TOKYO ELECTRON TOHOKU LTD.
分类号 C30B31/12;F27B17/00;F27B5/14;F27D1/10;F27D1/12;F27D11/02;H01L21/22;H01L21/31;H05B3/62 主分类号 C30B31/12
代理机构 代理人
主权项
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