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发明名称 SEMICONDUCTOR PROBE-STATION AIR CHILLER
摘要
申请公布号 KR20060029643(A) 申请公布日期 2006.04.06
申请号 KR20060009585 申请日期 2006.02.01
申请人 CENOTECH CO., LTD. 发明人 LEE, TAE KYO;LEE, SEUNG KOOK
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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