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发明名称 SUBSTRATE CLEANING APPARATUS CAPABLE OF ADJUSTING TILT
摘要
申请公布号 KR20060029481(A) 申请公布日期 2006.04.06
申请号 KR20040078447 申请日期 2004.10.01
申请人 K.C.TECH CO., LTD. 发明人 SHIM, GYU JIN
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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