| 发明名称 | 用于产生远紫外线辐射或软X射线辐射的方法和装置 | ||
| 摘要 | 借助气体放电产生远紫外线辐射/软X射线辐射的方法，尤其被用于EUV光刻术，其中，在放电室(11)内给两个电极施加高电压，在所述的两个电极之间，根据在帕申曲线的左支路上进行的放电工作而在两个同轴电极开孔(12，13)的区域内提供一种具有预定气压的气体填充，在该气体填充当中通过输入能量而构造发出辐射的等离子体(10)，其特征在于：所述的等离子体(10)在所述的电极开孔(12，13)的区域内借助气体填充的压力变化而被偏移。 | ||
| 申请公布号 | CN1250054C | 申请公布日期 | 2006.04.05 |
| 申请号 | CN02807601.X | 申请日期 | 2002.03.21 |
| 申请人 | 弗劳恩霍弗实用研究促进协会;皇家菲利浦电子有限公司 | 发明人 | W·内夫;K·博格曼;O·罗西尔;J·潘克特 |
| 分类号 | H05G2/00(2006.01) | 主分类号 | H05G2/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 程天正;张志醒 |
| 主权项 | 1.用于借助气体放电产生远紫外线辐射/软X射线辐射的方法，尤其被用于EUV光刻术，其中，在放电室(11)内给两个电极施加高电压，在所述的两个电极之间，根据在帕申曲线的左支路上进行的放电工作而在两个同轴电极开孔(12，13)的区域内提供一种具有预定气压的气体填充，在该气体填充当中通过输入能量而构造发出辐射的等离子体(10)，其特征在于：所述的等离子体(10)在所述的电极开孔(12，13)的区域内借助气体填充的压力梯度而被偏移和/或成形。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||