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发明名称
摘要
申请公布号
JP3762673(B2)
申请公布日期
2006.04.05
申请号
JP20010259600
申请日期
2001.08.29
申请人
发明人
分类号
H01L27/14;H01L21/3205;H01L23/52;H01L31/0232;H01L31/10
主分类号
H01L27/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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