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发明名称
摘要
申请公布号
JP3762378(B2)
申请公布日期
2006.04.05
申请号
JP20030077648
申请日期
2003.03.20
申请人
发明人
分类号
H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/417;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/78
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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